机器学习自动化检测栅极刻蚀表面缺陷
技术栈:QT、C++、Opencv
核心模块:
1.缺陷特征提取
2.缺陷分类
3.定位模块
4.相机模块
5.运动控制模块
技术实现:
PLC控制相机的运动,调用相机SDK开启相机,设定脉冲控制每次运动的距离以及拍照次数。机器学习特征提取2D表面缺陷并分类。检测方法采用CAM资料对比。三点定位,先在设计图纸上标记特征点,然后运动相机到标记处拍照,获取相同的特征点对应得位置,通过仿射变换设计图纸和实际拍摄到的图它们的坐标系变换到相同的坐标系,通过图片做差得到缺陷位置。